OF4TP - Tehnika plazme
| Specifikacija predmeta | ||||
|---|---|---|---|---|
| Naziv | Tehnika plazme | |||
| Akronim | OF4TP | |||
| Studijski program | Elektrotehnika i računarstvo | |||
| Modul | modul Fizička elektronika | |||
| Tip studija | osnovne akademske studije | |||
| Nastavnik (predavač) | ||||
| Nastavnik/saradnik (vežbe) | ||||
| Nastavnik/saradnik (DON) | ||||
| Broj ESPB | 6.0 | Status predmeta | izborni | |
| Uslovljnost drugim predmetima | Položen predmet: Fizička elektronika gasova i plazme | |||
| Ciljevi izučavanja predmeta | Upoznavanje studenata sa osnovnim konceptima raznih tehnika plazme koje koriste moderne tehnologije. Primena stečenog znanja o karakteristikama plazme u razvoju budućeg inženjeringa. | |||
| Ishodi učenja (stečena znanja) | Poznavanje osnovnih principa depozicije materijala, pravljenja tankih slojeva, nagrizanja materijala u plazma tehnici. Masovno pravljenje integrisanih kola velikog stepena integracije. Nanoslojevi u plazma tehnici. | |||
| Sadržaj predmeta | ||||
| Sadržaj teorijske nastave | Osnove gasnih pražnjenja, izvori plazme, Reactive Ion Etcher pražnjenja, plazma hemija, plazma tehnika u proizvodnji mikroelektronskih kola, kinetička teorija i sudari, ECR izvori plazme, induktivno spregnuta plazma, helikoidalno talasni izvori plazme, plazma dijagnostika | |||
| Sadržaj praktične nastave | Praktične vežbe, istraživački rad u laboratoriji | |||
| Literatura | ||||
| ||||
| Broj časova aktivne nastave nedeljno tokom semestra/trimestra/godine | ||||
| Predavanja | Vežbe | DON | Studijski i istraživački rad | Ostali časovi |
| 3 | 2 | |||
| Metode izvođenja nastave | Predavanja, auditorne vežbe, projekti | |||
| Ocena znanja (maksimalni broj poena 100) | ||||
| Predispitne obaveze | Poena | Završni ispit | Poena | |
| Aktivnosti u toku predavanja | 0 | Pismeni ispit | 50 | |
| Praktična nastava | 0 | Usmeni ispit | 0 | |
| Projekti | 10 | |||
| Kolokvijumi | 40 | |||
| Seminari | 0 | |||