ОФ4ТП - Техника плазме
| Спецификација предмета | ||||
|---|---|---|---|---|
| Назив | Техника плазме | |||
| Акроним | ОФ4ТП | |||
| Студијски програм | Електротехника и рачунарство | |||
| Модул | модул Физичка електроника | |||
| Тип студија | основне академске студије | |||
| Наставник (предавач) | ||||
| Наставник/сарадник (вежбе) | ||||
| Наставник/сарадник (ДОН) | ||||
| Број ЕСПБ | 6.0 | Статус предмета | изборни | |
| Условљност другим предметима | Положен предмет: Физичка електроника гасова и плазме | |||
| Циљеви изучавања предмета | Упознавање студената са основним концептима разних техника плазме које користе модерне технологије. Примена стеченог знања о карактеристикама плазме у развоју будућег инжењеринга. | |||
| Исходи учења (стечена знања) | Познавање основних принципа депозиције материјала, прављења танких слојева, нагризања материјала у плазма техници. Масовно прављење интегрисаних кола великог степена интеграције. Нанослојеви у плазма техници. | |||
| Садржај предмета | ||||
| Садржај теоријске наставе | Основе гасних пражњења, извори плазме, Reactive Ion Etcher пражњења, плазма хемија, плазма техника у производњи микроелектронских кола, кинетичка теорија и судари, ECR извори плазме, индуктивно спрегнута плазма, хеликоидално таласни извори плазме, плазма дијагностика | |||
| Садржај практичне наставе | Практичне вежбе, истраживачки рад у лабораторији | |||
| Литература | ||||
| ||||
| Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године | ||||
| Предавања | Вежбе | ДОН | Студијски и истраживачки рад | Остали часови |
| 3 | 2 | |||
| Методе извођења наставе | Предавања, аудиторне вежбе, пројекти | |||
| Оцена знања (максимални број поена 100) | ||||
| Предиспитне обавезе | Поена | Завршни испит | Поена | |
| Активности у току предавања | 0 | Писмени испит | 50 | |
| Практична настава | 0 | Усмени испит | 0 | |
| Пројекти | 10 | |||
| Колоквијуми | 40 | |||
| Семинари | 0 | |||