Navigacija

13D061PPST - Primena plazme u savremenim tehnologijama elektronici i nauci o materijalima

Specifikacija predmeta
Naziv Primena plazme u savremenim tehnologijama elektronici i nauci o materijalima
Akronim 13D061PPST
Studijski program Elektrotehnika i računarstvo
Modul modul Nanoelektronika i fotonika
Tip studija doktorske akademske studije
Nastavnik (predavač)
Nastavnik/saradnik (vežbe)
    Nastavnik/saradnik (DON)
      Broj ESPB 9.0 Status predmeta izborni
      Uslovljnost drugim predmetima
      Ciljevi izučavanja predmeta Da se oformi baza znanja, interesa, alata za razumevanje neravnotežne niskotemperaturske sudarne plazme i njenih primena na osnovu elementarnih sudarnih i transportnih procesa. Poenta kursa nije da se uče izvođenja teorije nego da se diskutije fizički sadržaj jednačina u literaturi, principi rada na osnovu elementarnih mikroskopskih procesa i principi rada primena.
      Ishodi učenja (stečena znanja) Da se studenti upoznaju sa savremenim dostignućima u fizici neravnotežnih plazmi, elementarnim procesima, teorijom i dijagnostikom plazme Upoznavanje sa savremenim primenama neravnotežnih plazmi, mikroelektronika, plazma medicina, nanotehnologije i mnoge druge, da razumeju njihove elementarne sudarne i transportne procese i kako da se ovi optimizuju sa ciljem da se ostvari konkretna primena.
      Sadržaj predmeta
      Sadržaj teorijske nastave 1. Elementarni sudarni procesi elektrona i teških čestica, sudari na površinama 2. Transportni procesi i rojevi 3. Proboj, DC plazme, RF plazme, neravnotežne plazme na atmosferskom pritisku 4. Primene plazme, mikroelektronika, plazma medicina, nanotehnologije, izvori svetlosti, tretman materijala, ostale primene 5. Trapovi i jonizovani gasovi
      Sadržaj praktične nastave Eksperiment, Seminar, uključenje u naučni rad
      Literatura
      1. Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication T.Makabe Z.Petrović Taylor and Francis, CRC Press, New York (2006).
      2. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Lieberman M A and Lichtenberg A J 2005 2nd edn (Hoboken, NJ: Wiley)
      3. Plasma Chemistry Alexander Fridman Cambridge University Press, May 5, 2008 - 1022 pages
      4. On application of plasmas in nanotechnologies, Zoran Lj. Petrović, Paul Maguire, Marija Radmilović-Rañenović, Maja Radetić, Nevena Puač, Dragana Marić, Charles Mahony, Gordana Malović in "Nanotechnology for Electronics, Photonics, and Renewable Energ
      5. Measurement and interpretation of swarm parameters and their application in plasma modelling Z Lj Petrović, S Dujko, D Marić, G Malović, Ž Nikitović, O Šašić, J Jovanović, V Stojanović and M Radmilović-Radenović J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009) 194
      Broj časova aktivne nastave nedeljno tokom semestra/trimestra/godine
      Predavanja Vežbe DON Studijski i istraživački rad Ostali časovi
      6
      Metode izvođenja nastave Predavanja, Diskusija, Održavanje seminara na zadatu temu, diskusija uz literaturu, pregledni radovi
      Ocena znanja (maksimalni broj poena 100)
      Predispitne obaveze Poena Završni ispit Poena
      Aktivnosti u toku predavanja 10 Pismeni ispit 0
      Praktična nastava 20 Usmeni ispit 50
      Projekti
      Kolokvijumi 0
      Seminari 20