Navigacija

13E064MEMS - Mikroelektromehanički sistemi

Specifikacija predmeta
Naziv Mikroelektromehanički sistemi
Akronim 13E064MEMS
Studijski program Elektrotehnika i računarstvo
Modul
Tip studija osnovne akademske studije
Nastavnik (predavač)
Nastavnik/saradnik (vežbe)
Nastavnik/saradnik (DON)
    Broj ESPB 6.0 Status predmeta izborni
    Uslovljnost drugim predmetima nema
    Ciljevi izučavanja predmeta Uvođenje studenata u osnovne koncepte mikro- i nanofabrikacije, mikro i nanosistema. Upoznavanje s metodama njihovog modelovanja, simulacije, izrade, karakterizacije i primene. Uvod u savremene trendove vezane za senzore i aktuatore na mikroskopskom i submikroskopskom nivou i upoznavanje s osnovnim konceptima mikrosistemskih tehnologija i nanotehnologije.
    Ishodi učenja (stečena znanja) Upoznatost sa glavnim MEMS sistemima i tehnologijama za njihovu izradu. Sposobnost njihovog korišćenja u širokom dijapazonu praktičnih oblasti, pre svega za industrijsko/procesne namene, informatiku i biomedicinu. Upoznatost sa savremenim trendovima u oblasti i s tekućom problematikom.
    Sadržaj predmeta
    Sadržaj teorijske nastave Uvod. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Materijali za izradu MEMS-a. Tehnologije izrade MEMS-a. Zapreminsko i površinsko mikromašinstvo. LIGA postupak. Kontrola MEMS-a. Koncept električnog i mehaničkog modelovanja. Elektrostatički senzori i aktuatori. Termički senzori i aktuatori. Magnetski aktuatori. Mikrofluidika. Optički MEMS. Numeričko modelovanje MEMS naprava.
    Sadržaj praktične nastave Praktični rad u oblasti modelovanja i dizajna MEMS-a.
    Literatura
    1. Z. Jakšić, Uvod u MEMS, Skripta, 2007.
    2. Chang Liu, Foundations of MEMS, Pearson Education, Inc., 2006.
    3. M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002,
    4. Mohamed Gad-el-Hak (Ed.), "MEMS: Introduction and Fundamentals", Taylor & Francis Group, LLC, 2006.
    5. Sergey Edward Lyshevski (Ed.), "Nano- and Micro-Electromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering", CRC Press, 2004.
    Broj časova aktivne nastave nedeljno tokom semestra/trimestra/godine
    Predavanja Vežbe DON Studijski i istraživački rad Ostali časovi
    3 2
    Metode izvođenja nastave predavanja, auditorne vežbe, demonstracije
    Ocena znanja (maksimalni broj poena 100)
    Predispitne obaveze Poena Završni ispit Poena
    Aktivnosti u toku predavanja 0 Pismeni ispit 35
    Praktična nastava 0 Usmeni ispit 0
    Projekti
    Kolokvijumi 35
    Seminari 30