13E064MEMS - Mikroelektromehanički sistemi
Specifikacija predmeta | ||||
---|---|---|---|---|
Naziv | Mikroelektromehanički sistemi | |||
Akronim | 13E064MEMS | |||
Studijski program | Elektrotehnika i računarstvo | |||
Modul | ||||
Tip studija | osnovne akademske studije | |||
Nastavnik (predavač) | ||||
Nastavnik/saradnik (vežbe) | ||||
Nastavnik/saradnik (DON) | ||||
Broj ESPB | 6.0 | Status predmeta | izborni | |
Uslovljnost drugim predmetima | nema | |||
Ciljevi izučavanja predmeta | Uvođenje studenata u osnovne koncepte mikro- i nanofabrikacije. Upoznavanje s metodama njihovog modelovanja, simulacije, izrade, karakterizacije i primene. Uvod u savremene trendove vezane za senzore i aktuatore na mikroskopskom i submikroskopskom nivou i upoznavanje s osnovnim konceptima mikrosistemskih tehnologija i nanotehnologije. | |||
Ishodi učenja (stečena znanja) | Poznavanje osnovnih MEMS sistemima i tehnologija za njihovu izradu. Sposobnost njihovog korišćenja u širokom dijapazonu praktičnih oblasti, pre svega za industrijsko/procesne namene, informatiku i biomedicinu. Upoznatost sa savremenim trendovima u oblasti i s tekućom problematikom. | |||
Sadržaj predmeta | ||||
Link ka stranici predmeta | http://nobel.etf.bg.ac.rs/studiranje/kursevi/of4mes/ | |||
Link ka predavanjima | https://teams.microsoft.com/l/team/19%3AVhL_Jwp3AbchfElihp9StVNbQtVC_-q1imL46mXtnrw1%40thread.tacv2/conversations?groupId=d5573c9f-cfc1-42a6-af1e-fece5fd7c2eb&tenantId=1774ef2e-9c62-478a-8d3a-fd2a495547ba | |||
Sadržaj teorijske nastave | Uvod. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Materijali za izradu MEMS-a. Tehnologije izrade MEMS-a. Zapreminsko i površinsko mikromašinstvo. LIGA postupak. Kontrola MEMS-a. Koncept električnog i mehaničkog modelovanja. Elektrostatički senzori i aktuatori. Termički senzori i aktuatori. Magnetski aktuatori. Mikrofluidika. Optički MEMS. Numeričko modelovanje MEMS naprava. | |||
Sadržaj praktične nastave | Praktični rad u oblasti modelovanja i dizajna MEMS-a. | |||
Literatura | ||||
| ||||
Broj časova aktivne nastave nedeljno tokom semestra/trimestra/godine | ||||
Predavanja | Vežbe | DON | Studijski i istraživački rad | Ostali časovi |
3 | 2 | |||
Metode izvođenja nastave | predavanja, auditorne vežbe, demonstracije | |||
Ocena znanja (maksimalni broj poena 100) | ||||
Predispitne obaveze | Poena | Završni ispit | Poena | |
Aktivnosti u toku predavanja | 0 | Pismeni ispit | 0 | |
Praktična nastava | 0 | Usmeni ispit | 30 | |
Projekti | 35 | |||
Kolokvijumi | 35 | |||
Seminari | 0 |