ОФ3МИН - Микроелектроника и наноелектроника

Спецификација предмета
Назив		Микроелектроника и наноелектроника
Акроним		ОФ3МИН
Студијски програм		Електротехника и рачунарство
Модул		модул Физичка електроника
Тип студија		основне академске студије
Наставник (предавач)		проф. др Милан Тадић проф. др Владимир Арсоски
Наставник/сарадник (вежбе)		проф. др Владимир Арсоски проф. др Милан Тадић
Наставник/сарадник (ДОН)
Број ЕСПБ		6.0	Статус предмета	обавезан
Условљност другим предметима		нема
Циљеви изучавања предмета		Упознавање студената са поступцима пројектовања и израде микроелектронских и наноелектронских направа и монолитних интегрисаних кола. Упознавање студената са радним карактеристикама микроелектронских и наноелектронских направа.
Исходи учења (стечена знања)		Овладавање основним знањима из области планарних процеса, нанотехнологоије, биполарних и униполарних силицијумских направа, хетероструктурних направа и наноелектронских направа.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе		Планарни процеси: дифузија, јонска имплантација, термичка оксидација, депозиција, епитаксија, метализација, литографија, нагризање и хемијско-механичка планаризација. Израда биполарног и MOS транзистора. Ефекти у транзисторима малих димензија. Муров закон. MESFET. Основи нанотехнологије. Наноструктуре. HEMT. HBT. Резонантна тунелска диода. Направе на бази графена и угљеничних нанотуба.
Садржај практичне наставе		Решавање селектованих проблема.
Литература
"Микроелектроника и наноелектроника-предавања", М. Тадић, 2011, http://nobel.etf.bg.ac.rs/studiranje/kursevi/of3min/materijali/min_handouts_2011.pdf М.Тадић, Р.Рамовић, "Збирка задатака из микроелектронике", Академска мисао-ЕТФ, Београд, 2000. M. Quirk, J. Serda, "Semiconductor Manufacturing Technology", Pearson, 2001. R. S. Muller and T. I. Kamins, "Device Electronics for Integrated Circuits", Wiley, 2003. G. W. Hanson, "Fundamentals of Nanoelectronics", Prentice Hall, 2007.
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања	Вежбе	ДОН	Студијски и истраживачки рад	Остали часови
3	2
Методе извођења наставе		предавања, аудиторне вежбе, демонстрације
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе		Поена	Завршни испит	Поена
Активности у току предавања		0	Писмени испит	50
Практична настава		0	Усмени испит	0
Пројекти		0
Колоквијуми		50
Семинари		0