Навигација

13Е064МЕМС - Микроелектромеханички системи

Спецификација предмета
НазивМикроелектромеханички системи
Акроним13Е064МЕМС
Студијски програмЕлектротехника и рачунарство
Модул
Тип студијаосновне академске студије
Наставник (предавач)
Наставник/сарадник (вежбе)
Наставник/сарадник (ДОН)
    Број ЕСПБ6.0Статус предметаизборни
    Условљност другим предметиманема
    Циљеви изучавања предметаУвођење студената у основне концепте микро- и нанофабрикације, микро и наносистема. Упознавање с методама њиховог моделовања, симулације, израде, карактеризације и примене. Увод у савремене трендове везане за сензоре и актуаторе на микроскопском и субмикроскопском нивоу и упознавање с основним концептима микросистемских технологија и нанотехнологије.
    Исходи учења (стечена знања)Упознатост са главним МЕМС системима и технологијама за њихову израду. Способност њиховог коришћења у широком дијапазону практичних области, пре свега за индустријско/процесне намене, информатику и биомедицину. Упознатост са савременим трендовима у области и с текућом проблематиком.
    Садржај предмета
    Садржај теоријске наставеУвод. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Материјали за израду MEMS-a. Технологије израде MEMS-a. Запреминско и површинско микромашинство. LIGA поступак. Контрола MEMS-a. Концепт електричног и механичког моделовања. Електростатички сензори и актуатори. Термички сензори и актуатори. Магнетски актуатори. Микрофлуидика. Оптички MEMS. Нумеричко моделовање MEMS направа.
    Садржај практичне наставеПрактични рад у области моделовања и дизајна MEMS-а.
    Литература
    1. Z. Jakšić, Uvod u MEMS, Skripta, 2007.
    2. Chang Liu, Foundations of MEMS, Pearson Education, Inc., 2006.
    3. M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002,
    4. Mohamed Gad-el-Hak (Ed.), "MEMS: Introduction and Fundamentals", Taylor & Francis Group, LLC, 2006.
    5. Sergey Edward Lyshevski (Ed.), "Nano- and Micro-Electromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering", CRC Press, 2004.
    Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
    ПредавањаВежбеДОНСтудијски и истраживачки радОстали часови
    32
    Методе извођења наставепредавања, аудиторне вежбе, демонстрације
    Оцена знања (максимални број поена 100)
    Предиспитне обавезеПоенаЗавршни испитПоена
    Активности у току предавања0Писмени испит35
    Практична настава0Усмени испит0
    Пројекти
    Колоквијуми35
    Семинари30