Навигација

13Е063МИН - Микроелектроника и наноелектроника

Спецификација предмета
НазивМикроелектроника и наноелектроника
Акроним13Е063МИН
Студијски програмЕлектротехника и рачунарство
Модулмодул Физичка електроника - смер Наноелектроника, оптоелектроника и ласерска техника
Тип студијаосновне академске студије
Наставник (предавач)
Наставник/сарадник (вежбе)
Наставник/сарадник (ДОН)
    Број ЕСПБ6.0Статус предметаобавезан
    Условљност другим предметиманема
    Циљеви изучавања предметаУпознавање студената са поступцима пројектовања и израде микроелектронских и наноелектронских направа и монолитних интегрисаних кола. Упознавање студената са радним карактеристикама микроелектронских и наноелектронских направа.
    Исходи учења (стечена знања)Овладавање основним знањима из области планарних процеса, нанотехнологоије, биполарних и униполарних силицијумских направа, хетероструктурних направа и наноелектронских направа.
    Садржај предмета
    Садржај теоријске наставеПланарни процеси: дифузија, јонска имплантација, термичка оксидација, депозиција, епитаксија, метализација, литографија, нагризање и хемијско-механичка планаризација. Израда биполарног и MOS транзистора. Ефекти у транзисторима малих димензија. Муров закон. MESFET. Основи нанотехнологије. Наноструктуре. HEMT. HBT. Резонантна тунелска диода. Направе на бази графена и угљеничних нанотуба.
    Садржај практичне наставеРешавање селектованих проблема.
    Литература
    1. "Микроелектроника и наноелектроника-предавања", М. Тадић, 2011, http://nobel.etf.bg.ac.rs/studiranje/kursevi/of3min/materijali/min_handouts_2011.pdf
    2. М.Тадић, Р.Рамовић, "Збирка задатака из микроелектронике", Академска мисао-ЕТФ, Београд, 2000.
    3. M. Quirk, J. Serda, "Semiconductor Manufacturing Technology", Pearson, 2001.
    4. R. S. Muller and T. I. Kamins, "Device Electronics for Integrated Circuits", Wiley, 2003.
    5. G. W. Hanson, "Fundamentals of Nanoelectronics", Prentice Hall, 2007.
    Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
    ПредавањаВежбеДОНСтудијски и истраживачки радОстали часови
    32
    Методе извођења наставепредавања, аудиторне вежбе, демонстрације
    Оцена знања (максимални број поена 100)
    Предиспитне обавезеПоенаЗавршни испитПоена
    Активности у току предавања0Писмени испит50
    Практична настава0Усмени испит0
    Пројекти
    Колоквијуми50
    Семинари0