Навигација

13Д061ППСТ - Примена плазме у савременим технологијама електроници и науци о материјалима

Спецификација предмета
НазивПримена плазме у савременим технологијама електроници и науци о материјалима
Акроним13Д061ППСТ
Студијски програмЕлектротехника и рачунарство
Модулмодул Наноелектроника и фотоника
Тип студијадокторске академске студије
Наставник (предавач)
Наставник/сарадник (вежбе)
    Наставник/сарадник (ДОН)
      Број ЕСПБ9.0Статус предметаизборни
      Условљност другим предметима
      Циљеви изучавања предметаДа се оформи база знања, интереса, алата за разумевање неравнотежне нискотемпературске сударне плазме и њених примена на основу елементарних сударних и транспортних процеса. Поента курса није да се уче извођења теорије него да се дискутије физички садржај једначина у литератури, принципи рада на основу елементарних микроскопских процеса и принципи рада примена.
      Исходи учења (стечена знања)Да се студенти упознају са савременим достигнућима у физици неравнотежних плазми, елементарним процесима, теоријом и дијагностиком плазме Упознавање са савременим применама неравнотежних плазми, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије и многе друге, да разумеју њихове елементарне сударне и транспортне процесе и како да се ови оптимизују са циљем да се оствари конкретна примена.
      Садржај предмета
      Садржај теоријске наставе1. Елементарни сударни процеси електрона и тешких честица, судари на површинама 2. Транспортни процеси и ројеви 3. Пробој, DC плазме, РФ плазме, неравнотежне плазме на атмосферском притиску 4. Примене плазме, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије, извори светлости, третман материјала, остале примене 5. Трапови и јонизовани гасови
      Садржај практичне наставеЕксперимент, Семинар, укључење у научни рад
      Литература
      1. Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication T.Makabe Z.Petrović Taylor and Francis, CRC Press, New York (2006).
      2. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Lieberman M A and Lichtenberg A J 2005 2nd edn (Hoboken, NJ: Wiley)
      3. Plasma Chemistry Alexander Fridman Cambridge University Press, May 5, 2008 - 1022 pages
      4. On application of plasmas in nanotechnologies, Zoran Lj. Petrović, Paul Maguire, Marija Radmilović-Rañenović, Maja Radetić, Nevena Puač, Dragana Marić, Charles Mahony, Gordana Malović in "Nanotechnology for Electronics, Photonics, and Renewable Energ
      5. Measurement and interpretation of swarm parameters and their application in plasma modelling Z Lj Petrović, S Dujko, D Marić, G Malović, Ž Nikitović, O Šašić, J Jovanović, V Stojanović and M Radmilović-Radenović J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009) 194
      Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
      ПредавањаВежбеДОНСтудијски и истраживачки радОстали часови
      6
      Методе извођења наставеПредавања, Дискусија, Одржавање семинара на задату тему, дискусија уз литературу, прегледни радови
      Оцена знања (максимални број поена 100)
      Предиспитне обавезеПоенаЗавршни испитПоена
      Активности у току предавања10Писмени испит0
      Практична настава20Усмени испит50
      Пројекти
      Колоквијуми0
      Семинари20