Почетна

Информације о предмету

Спецификација предмета
Назив предмета Техника плазме
Акроним ОФ4ТП
Студијски програм Електротехника и рачунарство
Модул модул Физичка електроника
Тип студија основне академске студије
Наставник (за предавања) проф. др Јован Цветић
Наставник/сарадник (за вежбе) проф. др Јован Цветић
ас. мс Милан Игњатовић
Наставник/сарадник (за ДОН)
Број ЕСПБ 6 Статус предмета изборни
Услов Положен предмет: Физичка електроника гасова и плазме
Циљ предмета Упознавање студената са основним концептима разних техника плазме које користе модерне технологије. Примена стеченог знања о карактеристикама плазме у развоју будућег инжењеринга.
Исход предмета Познавање основних принципа депозиције материјала, прављења танких слојева, нагризања материјала у плазма техници. Масовно прављење интегрисаних кола великог степена интеграције. Нанослојеви у плазма техници.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе Основе гасних пражњења, извори плазме, Reactive Ion Etcher пражњења, плазма хемија, плазма техника у производњи микроелектронских кола, кинетичка теорија и судари, ECR извори плазме, индуктивно спрегнута плазма, хеликоидално таласни извори плазме, плазма дијагностика
Садржај практичне наставе Практичне вежбе, истраживачки рад у лабораторији
Литература
1Reactive Sputter Deposition, Diederik Depla (Editor), Stijn Mahieu (Editor), Springer 2008.
2Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, Jane P. Chang, Francis F. Chen, Spinger 2003
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања Вежбе ДОН Студијски и истраживачки рад Остали часови
3 2
Методе извођења наставе Предавања, аудиторне вежбе, пројекти
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе Поена Завршни испит Поена
Активности у току предавања 0 Писмени испит 50
Практична настава 0 Усмени испит 0
Пројекти 10
Колоквијуми 40
Семинари 0