Почетна

Информације о предмету

Спецификација предмета
Назив предмета Микроелектромеханички системи
Акроним ОФ4МЕС
Студијски програм Електротехника и рачунарство
Модул модул Физичка електроника
Тип студија основне академске студије
Наставник (за предавања) доц. др Владимир Арсоски
доц. др Немања Чукарић
проф. др Милан Тадић
Наставник/сарадник (за вежбе) доц. др Немања Чукарић
доц. др Владимир Арсоски
Наставник/сарадник (за ДОН)
Број ЕСПБ 6 Статус предмета изборни
Услов нема
Циљ предмета Увођење студената у основне концепте микро- и нанофабрикације, микро и наносистема. Упознавање с методама њиховог моделовања, симулације, израде, карактеризације и примене. Увод у савремене трендове везане за сензоре и актуаторе на микроскопском и субмикроскопском нивоу и упознавање с основним концептима микросистемских технологија и нанотехнологије.
Исход предмета Упознатост са главним МЕМС системима и технологијама за њихову израду. Способност њиховог коришћења у широком дијапазону практичних области, пре свега за индустријско/процесне намене, информатику и биомедицину. Упознатост са савременим трендовима у области и с текућом проблематиком.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе Увод. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Материјали за израду MEMS-a. Технологије израде MEMS-a. Запреминско и површинско микромашинство. LIGA поступак. Контрола MEMS-a. Концепт електричног и механичког моделовања. Електростатички сензори и актуатори. Термички сензори и актуатори. Магнетски актуатори. Микрофлуидика. Оптички MEMS. Нумеричко моделовање MEMS направа.
Садржај практичне наставе Практични рад у области моделовања и дизајна MEMS-а.
Литература
1Z. Jakšić, Uvod u MEMS, Skripta, 2007.
2Chang Liu, Foundations of MEMS, Pearson Education, Inc., 2006.
3M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002,
4Mohamed Gad-el-Hak (Ed.), "MEMS: Introduction and Fundamentals", Taylor & Francis Group, LLC, 2006.
5Sergey Edward Lyshevski (Ed.), "Nano- and Micro-Electromechanical Systems: Fundamentals of Nano- and Microengineering", CRC Press, 2004.
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања Вежбе ДОН Студијски и истраживачки рад Остали часови
3 2
Методе извођења наставе предавања, аудиторне вежбе, демонстрације
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе Поена Завршни испит Поена
Активности у току предавања 0 Писмени испит 35
Практична настава 0 Усмени испит 0
Пројекти 30
Колоквијуми 35
Семинари 0