Почетна

Информације о предмету

Спецификација предмета
Назив предмета Примена плазме у савременим технологијама електроници и науци о материјалима
Акроним ДС2ППУ
Студијски програм Електротехника и рачунарство
Модул модул Наноелектроника и фотоника
Тип студија докторске академске студије
Наставник (за предавања) др Зоран Петровић
Наставник/сарадник (за вежбе)
Наставник/сарадник (за ДОН)
Број ЕСПБ 9 Статус предмета изборни
Услов
Циљ предмета Да се оформи база знања, интереса, алата за разумевање неравнотежне нискотемпературске сударне плазме и њених примена на основу елементарних сударних и транспортних процеса.
Поента курса није да се уче извођења теорије него да се дискутије физички садржај једначина у литератури, принципи рада на основу елементарних микроскопских процеса и принципи рада примена.
Исход предмета Да се студенти упознају са савременим достигнућима у физици неравнотежних плазми, елементарним процесима, теоријом и дијагностиком плазме
Упознавање са савременим применама неравнотежних плазми, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије и многе друге, да разумеју њихове елементарне сударне и транспортне процесе и како да се ови оптимизују са циљем да се оствари конкретна примена.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе 1. Елементарни сударни процеси електрона и тешких честица, судари на површинама
2. Транспортни процеси и ројеви
3. Пробој, DC плазме, РФ плазме, неравнотежне плазме на атмосферском притиску
4. Примене плазме, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије, извори светлости, третман материјала, остале примене
5. Трапови и јонизовани гасови
Садржај практичне наставе Експеримент, Семинар, укључење у научни рад
Литература
1Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication T.Makabe Z.Petrović Taylor and Francis, CRC Press, New York (2006).
2Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Lieberman M A and Lichtenberg A J 2005 2nd edn (Hoboken, NJ: Wiley)
3Plasma Chemistry Alexander Fridman Cambridge University Press, May 5, 2008 - 1022 pages
4On application of plasmas in nanotechnologies, Zoran Lj. Petrović, Paul Maguire, Marija Radmilović-Rañenović, Maja Radetić, Nevena Puač, Dragana Marić, Charles Mahony, Gordana Malović in "Nanotechnology for Electronics, Photonics, and Renewable Energ
5Measurement and interpretation of swarm parameters and their application in plasma modelling Z Lj Petrović, S Dujko, D Marić, G Malović, Ž Nikitović, O Šašić, J Jovanović, V Stojanović and M Radmilović-Radenović J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009) 194
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања Вежбе ДОН Студијски и истраживачки рад Остали часови
6
Методе извођења наставе Предавања, Дискусија, Одржавање семинара на задату тему, дискусија уз литературу, прегледни радови
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе Поена Завршни испит Поена
Активности у току предавања 10 Писмени испит 0
Практична настава 20 Усмени испит 50
Пројекти 20
Колоквијуми 0
Семинари 0