Почетна

Информације о предмету

Спецификација предмета
Назив предмета Примена плазме у савременим технологијама електроници и науци о материјалима
Акроним 13Д061ППСТ
Студијски програм Електротехника и рачунарство
Модул модул Наноелектроника и фотоника
Тип студија докторске академске студије
Наставник (за предавања) др Зоран Петровић
Наставник/сарадник (за вежбе)
Наставник/сарадник (за ДОН)
Број ЕСПБ 9 Статус предмета изборни
Услов
Циљ предмета Да се оформи база знања, интереса, алата за разумевање неравнотежне нискотемпературске сударне плазме и њених примена на основу елементарних сударних и транспортних процеса.
Поента курса није да се уче извођења теорије него да се дискутије физички садржај једначина у литератури, принципи рада на основу елементарних микроскопских процеса и принципи рада примена.
Исход предмета Да се студенти упознају са савременим достигнућима у физици неравнотежних плазми, елементарним процесима, теоријом и дијагностиком плазме
Упознавање са савременим применама неравнотежних плазми, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије и многе друге, да разумеју њихове елементарне сударне и транспортне процесе и како да се ови оптимизују са циљем да се оствари конкретна примена.
Садржај предмета
Садржај теоријске наставе 1. Елементарни сударни процеси електрона и тешких честица, судари на површинама
2. Транспортни процеси и ројеви
3. Пробој, DC плазме, РФ плазме, неравнотежне плазме на атмосферском притиску
4. Примене плазме, микроелектроника, плазма медицина, нанотехнологије, извори светлости, третман материјала, остале примене
5. Трапови и јонизовани гасови
Садржај практичне наставе Експеримент, Семинар, укључење у научни рад
Литература
1Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication T.Makabe Z.Petrović Taylor and Francis, CRC Press, New York (2006)., Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication T.Makabe Z.Petrović Taylor and Francis, CRC Press, New York (2006).
2Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Lieberman M A and Lichtenberg A J 2005 2nd edn (Hoboken, NJ: Wiley), Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Lieberman M A and Lichtenberg A J 2005 2nd edn (Hoboken, NJ: Wiley)
3Plasma Chemistry Alexander Fridman Cambridge University Press, May 5, 2008 - 1022 pages, Plasma Chemistry Alexander Fridman Cambridge University Press, May 5, 2008 - 1022 pages
4On application of plasmas in nanotechnologies, Zoran Lj. Petrović, Paul Maguire, Marija Radmilović-Rañenović, Maja Radetić, Nevena Puač, Dragana Marić, Charles Mahony, Gordana Malović in "Nanotechnology for Electronics, Photonics, and Renewable Energ, On application of plasmas in nanotechnologies, Zoran Lj. Petrović, Paul Maguire, Marija Radmilović-Rañenović, Maja Radetić, Nevena Puač, Dragana Marić, Charles Mahony, Gordana Malović in "Nanotechnology for Electronics, Photonics, and Renewable Energ
5Measurement and interpretation of swarm parameters and their application in plasma modelling Z Lj Petrović, S Dujko, D Marić, G Malović, Ž Nikitović, O Šašić, J Jovanović, V Stojanović and M Radmilović-Radenović J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009) 194, Measurement and interpretation of swarm parameters and their application in plasma modelling Z Lj Petrović, S Dujko, D Marić, G Malović, Ž Nikitović, O Šašić, J Jovanović, V Stojanović and M Radmilović-Radenović J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (2009) 194
Број часова активне наставе недељно током семестра/триместра/године
Предавања Вежбе ДОН Студијски и истраживачки рад Остали часови
6
Методе извођења наставе Предавања, Дискусија, Одржавање семинара на задату тему, дискусија уз литературу, прегледни радови
Оцена знања (максимални број поена 100)
Предиспитне обавезе Поена Завршни испит Поена
Активности у току предавања 10 Писмени испит 0
Практична настава 20 Усмени испит 50
Пројекти
Колоквијуми 0
Семинари 20